PiPi小型等离子装置介绍
高频输出 200W,反应腔 W130×D130mm。
经济型、适合于研究开发用小型等离子清洗机。
特点
● 经济型等离子清洗机
● 简单的等离子处理操作
● 等离子模式为RIE模式
用途
● 去除有机物
● 树脂/膜等表面改质
● 改善粘接效果
● 提高亲水性
● 去除金属氧化物
● 蚀刻
等离子为气体发生电离状态，形成带有正电的离子及带有负电的电子状态。等离子为带有高能量、反应性非常高的状态，其容易与物质表面进行反应的特性被广泛使用。
等离子RIE（Reactive Ion Etching 方式）
RIE是去除物体表面的有机物污垢，同时去除无机物的合适的清洗方式。
RIE方式为加速离子层中的阳离子，冲击污染表面的物理性清洗方式。
PiPi小型等离子装置规格
型号 | PM100 |
等离子方式 | RIE模式 |
电极构造 | 平行平板式 |
高频输出 | Max200W |
频率 | 13.56MHz |
电极尺寸 | W130×D130mm |
外形尺寸 | W438×D520×H565mm |
反应气体 | Ar |
填充气体 | N2或干燥空气 |
反应气体流量计 | 流量计 |
控制方式 | 程序控制 |
电源 | 单相100V |
真空泵（选配） | 油泵 135L/min（50Hz） |
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