NANO系列低压等离子清洗机

更新时间：2025-06-02

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简要描述：

NANO系列低压等离子清洗机低压等离子技术，气体在真空中通过获取能量从而被激发。等离子由高能离子、高能电子以及其它反应粒子组成。由上，材料表面可以被有效的改变。

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产品介绍

NANO系列低压等离子清洗机

低压等离子技术，气体在真空中通过获取能量从而被激发。等离子由高能离子、高能电子以及其它反应粒子组成。由上，材料表面可以被有效的改变。

等离子效应可分为以下三类：

一微砂喷射：材料表面通过离子轰击被消减

二化学反应：材料表面与离子化的气体发生化学反应

三紫外线放射：紫外射线将长链碳化合物分解

NANO系列低压等离子清洗机应用：
表面清洁(e.g. before bonding, soldering or gluing)
表面活化(e.g. before printing, varnishing or gluing)
表面蚀刻(e.g. microstructuring of silicon or etching of PTFE)
表面涂层(e.g. deposition of hydrophobic / hydrophilic layers)

NANO系列低压等离子清洗机应用领域：

REM, TEM	考古	汽车制造业	橡胶制造业
微机械制造	传感器检测	灭菌	纺织业
医疗器械制造业	塑料制造业	研发部门	电子半导体行业

NANO系列低压等离子清洗机规格、参数：

系列	Nano系列
控制系统	半自动型 PCCE 控制系统 (MicrosoftWindows CE) PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009)
体积	18~36L
真空腔室	圆形不锈钢件，配有盖子（大约 Φ 267 mm, 长 420 mm 或者长 600 mm）或者矩形不锈钢件，配有铰链的门（约宽 240 mm x 高 240 mm x 深 420 mm 或者 600 mm）配有盖子的圆形铝材，或者配有铰链的门（大约Φ 240 mm, 长 400 mm 或者长 600 mm）配有盖子的圆形石英玻璃 (UHP)，或者配有铰链的门（大约Φ 240 mm, 长 400 mm 或者长 600 mm）配有盖子的圆形硼硅玻璃 (UHP)，或者配有铰链的门（大约Φ 240 mm, 长 400 mm 或者长 600 mm）
电极	单层或多层 RIE
样品支架	（选项：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃
气源	针型阀质量流量控制器 (MFCs)
压力计	Pirani Baratron（适用于腐蚀性气体版本）
计时器	数字型
高频电流发生器	40 kHz: 功率 0 - 300 W；0 -1000 W 13.56 MHz: 功率 0 - 100 W；0 - 300 W 2.45 GHz: 功率 0 - 600 W 所有发生器均为 0 - 100% 无级可调型
真空泵	规格和制造商均各有不同（按照活性炭过滤器的需要）
电源	台式设备为 230 V，立式设备为 400 V/3 相位